制程環境沙盤模型
在芯片、半導體器件生產全過程中，制程環境污染控制極為重要。核心制程的空氣潔凈度需要達到ISO Class 1，氣態分子污染物(AMC)濃度需要低于百億分之一，不合格的制程環境會導致產品良率大幅度降低。
制程環境沙盤模型
制程環境沙盤模型
普通的空氣中含有大量微粒、浮塵等顆粒污染物及二氧化硫、氮氧化物、氨氣等氣態污染物，只有經過處理后才能進入潔凈室。因生產半導體等微電子器件的潔凈房需全天保持標準潔凈度，所以潔凈空調系統(包括排風系統)、為其配套的冷熱源及相應的輸送系統必須24h運行，與其他常規空調系統極其不同。
